ghi-line stepper - 工作狀態,無已知問題• 2 um GHI-line 寬带鏡頭 • Windows Base 操作臺 • 機器人裝載機(晶圓尺寸變化 60 分鐘) • PATMAX MVS 對準系統 • 3 x 5 英寸標線 • 6 吋晶圓 • 30 X 15 視場大小 - 手動光圈 • 鏡頭失真參考 - 無鏡頭匹配 • 115V 電源 • 四色信號燈塔 • 單探針聚焦軟體 • 焦點映射 (Grid Focus) 軟體 • MVS 手動對中軟體 • 上部 EGA 軟體 • 步驟特定工藝模式軟體 • 對焦模式:SPF 軟體
Sapphire 100 專為製造高亮度發光二極體 (HBLED) 而開發。Sapphire 100 系統旨在説明 Ultratech 的客戶滿足對採用 HBLED 技術的照明產品日益增長的需求。此外,Sapphire 100 系統還採用了 Ultratech 的專利機器視覺系統 (MVS),與傳統對準方法相比,該系統提供了增強的對準靈活性和顯著優勢。該系統適用於各種應用,包括 HBLED、半導體製造、納米技術和先進封裝(通過 AP 系列)。