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利修斯
利修斯
NT$ 10,500.00
跟蹤高可靠性和生產率塗布機顯影劑 （5C/5D）CLEAN TRACK™ LITHIUS™ 系列是繼 CLEAN TRACK™ ACT™ 系列之後的最新塗布機/顯影機，配備了高科技。關鍵概念是可擴展至先進工藝、高輸送量、減少佔地面積、提高 OEE（整體設備效率）和降低 CoO（擁有成本）。ACT 的繼任者 - 200 毫米或 300 毫米，更多的模組和更快的輸送量 （150 wph）。
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