2021年岡本SPP800ATB全自動晶圓拋光機 – 幾乎全新 – 台灣
2021年岡本SPP800ATB全自動晶圓拋光機 – 幾乎全新 – 台灣
商品詳情
名稱： 2021年岡本SPP800ATB全自動晶圓拋光機 – 幾乎全新 – 台灣
項目編號 ： 16742
型號/類型 ： SPP800ATB
執行狀態 ： Installed/Running
物品狀況 ： New/Unused
成本和收益
拆卸和裝載費用（綁定）：： Not Included
運費： Not Included
交貨條款 ： FCA, loaded on truck
付款條件 ： 100% payment prior to collection
產品描述
2021款岡本SPP800ATB是一款全自動晶圓拋光機，專為半導體製造中的精密拋光而設計。此機型由岡本公司在日本製造，採用無蠟設計，配備3個拋光頭和2個壓盤，可同時拋光4-6吋晶圓（每週期4吋 x 8片晶圓或6吋 x 4片晶圓）。該設備配備一個帶有4個晶圓盒接口（乾式晶圓盒接口）的裝載單元、晶圓搬運機器人、帶120度分度和真空夾持的拋光頭、帶振盪裝置的φ820mm拋光台、帶濕式晶圓盤的卸載單元、刷式拋光墊調節器以及帶安全聯鎖裝置的封閉式機蓋。這台機器幾乎是全新的，已安裝和測試過，但從未投入生產，是半導體應用中高精度晶圓加工的理想選擇。
規格：
- 機器類型：全自動晶圓拋光機
- 製造商：甘本
- 模型：SPP800ATB
- 製造年份：2021
- 起源： 日本
- 晶圓尺寸：4-6 英吋（每個週期 4 英吋 x 8 或 6 英吋 x 4）
- 波蘭表：2 x φ820mm，10-114 RPM，±25mm 振盪
- 卡盤台：3 x φ390mm，5-100 RPM，最大壓力900kg
- 方面：寬 2680 x 深 2770 x 高 2451 毫米
- 重量：9500公斤
- 力量：AC200V 3ph，100A斷路器
- 空氣：100公升/分鐘 >0.55MPa
- 去離子水：平均 5 公升/分鐘，最大 33 公升/分鐘
- 排氣：3立方米/分鐘
- 自來水：真空幫浦2L/min
- 環境：23±1℃，50±10%濕度，10-40 dB振動
- 狀態:幾乎全新（已安裝並測試，未用於生產）
- 地點： 台灣
應用：
- 半導體生產中的晶圓拋光
- 電子產品的精密表面處理
- 研究和小規模工程拋光
