เครื่องขัดเวเฟอร์ Okamoto SPP800ATB ปี 2021 เป็นเครื่องขัดเวเฟอร์อัตโนมัติเต็มรูปแบบที่ออกแบบมาเพื่อการขัดเงาที่แม่นยำในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตในประเทศญี่ปุ่นโดย Okamoto รุ่นนี้รองรับการขัดเวเฟอร์ขนาด 4-6 นิ้ว (4 x 8 เวเฟอร์ หรือ 6 x 4 เวเฟอร์ต่อรอบ) พร้อมกัน โดยใช้การออกแบบที่ปราศจากขี้ผึ้ง พร้อมหัวขัด 3 หัวและแผ่นขัด 2 แผ่น ประกอบด้วยชุดโหลดพร้อมช่องคาสเซ็ต 4 ช่อง (แบบแห้ง) หุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์ หัวขัดพร้อมดัชนี 120 องศาและระบบหนีบสุญญากาศ โต๊ะขัดขนาด φ820 มม. พร้อมระบบสั่น ชุดถอดพร้อมระบบเปียก แผ่นปรับสภาพแบบแปรง และฝาครอบปิดสนิทพร้อมระบบล็อคนิรภัย เครื่องนี้แทบจะเป็นเครื่องใหม่เอี่ยม ได้รับการติดตั้งและทดสอบแล้วแต่ยังไม่เคยผลิต จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ความแม่นยำสูงในงานเซมิคอนดักเตอร์

ข้อมูลจำเพาะ:

• ประเภทเครื่องจักร:เครื่องขัดเวเฟอร์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ
• ผู้ผลิต:โอคาโมโตะ
• แบบอย่าง:SPP800ATB
• ปีที่ผลิต:ปี 2021
• ต้นทาง:ประเทศญี่ปุ่น
• ขนาดเวเฟอร์:4-6 นิ้ว (4 นิ้ว x 8 หรือ 6 นิ้ว x 4 ต่อรอบ)
• ตารางโปแลนด์:2 x φ820 มม., 10-114 รอบต่อนาที, การแกว่ง ±25 มม.
• โต๊ะชัค:3 x φ390mm, 5-100 RPM, แรงดันสูงสุด 900 กก.
• ขนาด:กว้าง 2680 x ลึก 2770 x สูง 2451 มม.
• น้ำหนัก:9500 กก.
• พลัง:เบรกเกอร์ AC200V 3ph, 100A
• อากาศ:100 ลิตร/นาที >0.55MPa
• น้ำ DI:เฉลี่ย 5 ลิตร/นาที สูงสุด 33 ลิตร/นาที
• ไอเสีย:3 ลบ.ม./นาที
• น้ำประปา:2L/นาทีสำหรับปั๊มสุญญากาศ
• สิ่งแวดล้อม:23±1°C, ความชื้น 50±10%, การสั่นสะเทือน 10-40 dB
• เงื่อนไข:เกือบใหม่ (ติดตั้งและทดสอบแล้ว ไม่มีการใช้งานจริง)
• ที่ตั้ง:ไต้หวัน

การใช้งาน:

• การขัดเวเฟอร์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
• การตกแต่งพื้นผิวอย่างแม่นยำสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
• การวิจัยและการขัดเกลาทางวิศวกรรมขนาดเล็ก